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3D白色干渉顕微鏡による三次元表面性状測定とその応用

近年の微細加工における精度の向上は目覚ましく,加工部品の表面に仕上げ加工を施し,機能性を付すことで付加価値を高めるプロセスが広く実用化されている。例えば表面加工によって摩擦を低減,または付加することで部品同士の動力伝達を […]
日立,世界最高となる分解能43pmの原子分解能・ホログラフィー電子顕微鏡を開発

日立,世界最高となる分解能43pmの原子分解能・ホログラフィー電子顕微鏡を開発

日立製作所は,最先端研究開発支援プログラム「原子分解能・ホログラフィー電子顕微鏡の開発とその応用」において,1.2MVの加速電圧を備えた「原子分解能・ホログラフィー電子顕微鏡」を開発し,世界最高の分解能(点分解能)となる […]