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EUVの記事一覧

全54件中 31〜40件目を表示

  • 東工大ら，高分子電解質のシャボン玉でEUV発生

    東京工業大学，アイルランド ユニバーシティ・カレッジ・ダブリンの研究グループは，高分子電解質を界面活性剤として用いたシャボン玉を鋳型として，レーザーの低密度ターゲットとなるスズ薄膜球を作成することに成功し，レーザーの照射...

    2020.04.14

  • ラムリサーチ，EUV露光向けの技術を発表

    米ラムリサーチは極端紫外線（EUV）リソグラフィのパターニング向けにドライレジストテクノロジーを発表した（ニュースリリース）。 同社は業界をリードする成膜とエッチ工程との組み合わせのほか，オランダASMLやベルギーime...

    2020.03.03

  • 東大ら，軟X線でポンプ・プローブ分光に成功

    東京大学，高エネルギー加速器研究機構，米University of Central Floridaの研究グループは，高強度赤外レーザーから発生させた数百アト秒の時間幅を持つ波長3nmの軟X線パルスを用いて，一酸化窒素分子...

    2019.12.24

  • 日立ハイテク，高分解能FEB測長装置を開発

    日立ハイテクノロジーズ（日立ハイテク）は，高分解能FEB測長装置（CD-SEM）「CG7300」を開発した（ニュースリリース）。 「CG7300」は，従来機種「CG6300」と共通のプラットフォームを用いながら高精度な計...

    2019.12.13

  • 富山大ら，放射光により原子の形状操作に成功

    九州シンクロトロン光研究センター，富山大学，広島大学の研究グループは，極端紫外領域の放射光を用いて，ヘリウム原子の空間的な形状を操作することに成功した（ニュースリリース）。 研究グループは，放射光を用いて物質の状態を操作...

    2019.12.06

  • eBeam，EUVマスク検査の実現性を高評価

    電子ビーム技術の業界団体である米イービームイニシャチブ（eBeam Initiative）は2019年9月16日（現地時間），第8回目となる業界の識者の認識に関する年次調査が終了したと発表した（ニュースリリース）。 業界...

    2019.09.17

  • ウシオ，EUV光源事業をブランド化

    ウシオ電機は，従来より研究・開発に取り組んできたEUV光源事業をさらに推し進めるため，開発から製造，運用，アフターサービスに至るEUV光源事業のブランド化を策定し，ブランド名「TinPhoenix（ティンフェニックス）」...

    2019.09.10

  • ウシオのEUV光源，量産プロセス向けに初検収

    ウシオ電機（ウシオ）は，検査装置メーカーより受注している複数のEUVリソグラフィマスク検査装置用EUV光源（EUV光源）のうち，量産プロセス向けEUV光源が初めて検収されたと発表した（ニュースリリース）。 EUVリソグラ...

    2019.07.17

  • 三井化学，ASMLとEUVパーツでライセンス契約

    三井化学は，オランダASMLと，EUVペリクル事業のライセンス契約を締結した（ニュースリリース）。 同社は，露光工程の防塵カバー「ペリクル」を1984年に発売している。ペリクスはフォトマスクをクリーンに保ち，半導体の生産...

    2019.06.04

  • 量研ら，世界最短波長の「超蛍光」を観測

    量子科学技術研究開発機構（量研），自然科学研究機構分子科学研究所（分子研），理化学研究所（理研），上智大学を中心とする研究グループは，X線自由電子レーザー（XFEL）施設「SACLA」を用いて，世界最短波長の「超蛍光」の...

    2019.01.07

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