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EUVの記事一覧

全54件中 51〜54件目を表示

  • ウシオ電機，EUVでファーストライトを達成

    ウシオ電機は，2016年12月7日，オランダ応用科学研究機構 （The Netherlands Organization for Applied Scientific Research：TNO）において極端紫外光（EUV...

    2017.01.17

  • 北大ら，フォトリソの感度を上げる添加剤を発見

    北海道大学と大阪大学は，ナノ構造体形成についての研究の成果として，半導体製造用材料であるレジスト材料の加工性能を大幅に改善する方法の開発に成功した（ニュースリリース）。 現在のフォトリソグラフィプロセスでは，化学増幅型レ...

    2016.12.21

  • ギガフォトンのEUV光源，発光効率5％で出力105Wを達成

    エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）プロジェクトにおいて，ギガフォトンは最先端半導体製造ラインでの稼働を想定したEUVスキャナー用レーザー生成プラズマ光源を完成させ，出力105Ｗの安定運転と，世界最高水準である発...

    2016.10.21

  • NIFSら，多価イオンからの発光を計測

    自然科学研究機構 核融合科学研究所（NIFS)と上智大学は共同で，大型ヘリカル装置（LHD）で生成される高温プラズマの内部に，高原子番号の元素を入射し，極端紫外領域の発光スペクトルを計測することで，過去に実験的に観測され...

    2016.07.27

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