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極端紫外線

極端紫外線の記事一覧

全7件中 1〜7件目を表示

  • 東工大ら，高分子電解質のシャボン玉でEUV発生

    東京工業大学，アイルランド ユニバーシティ・カレッジ・ダブリンの研究グループは，高分子電解質を界面活性剤として用いたシャボン玉を鋳型として，レーザーの低密度ターゲットとなるスズ薄膜球を作成することに成功し，レーザーの照射...

    2020.04.14

  • ラムリサーチ，EUV露光向けの技術を発表

    米ラムリサーチは極端紫外線（EUV）リソグラフィのパターニング向けにドライレジストテクノロジーを発表した（ニュースリリース）。 同社は業界をリードする成膜とエッチ工程との組み合わせのほか，オランダASMLやベルギーime...

    2020.03.03

  • 日立ハイテク，高分解能FEB測長装置を開発

    日立ハイテクノロジーズ（日立ハイテク）は，高分解能FEB測長装置（CD-SEM）「CG7300」を開発した（ニュースリリース）。 「CG7300」は，従来機種「CG6300」と共通のプラットフォームを用いながら高精度な計...

    2019.12.13

  • 富山大ら，放射光により原子の形状操作に成功

    九州シンクロトロン光研究センター，富山大学，広島大学の研究グループは，極端紫外領域の放射光を用いて，ヘリウム原子の空間的な形状を操作することに成功した（ニュースリリース）。 研究グループは，放射光を用いて物質の状態を操作...

    2019.12.06

  • 富山大ら，原子の量子状態制御を放射光で実現

    富山大学，九州シンクロトロン光研究センター，広島大学らの研究グループは，分子科学研究所の放射光施設UVSORを用いて，最先端のレーザー技術でのみ可能と考えられてきた原子の量子状態制御を放射光で実現することに世界で初めて成...

    2019.11.05

  • 産総研ら，極端紫外線フェムト秒レーザーでガラスを高品質加工

    産業技術総合研究所（産総研），東京大学，早稲田大学，量子科学技術研究開発機構，宇都宮大学らは，極端紫外線フェムト秒レーザーで合成石英への極めて熱影響の少ないレーザー加工を実現した（ニュースリリース）。 次世代のレーザー加...

    2018.10.24

  • ギガフォトンのEUV光源，発光効率5％で出力105Wを達成

    エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）プロジェクトにおいて，ギガフォトンは最先端半導体製造ラインでの稼働を想定したEUVスキャナー用レーザー生成プラズマ光源を完成させ，出力105Ｗの安定運転と，世界最高水準である発...

    2016.10.21

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