半導体デバイス

半導体デバイスの記事一覧

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  • NAISTら,高移動度/低抵抗酸化物半導体ナノシート開発

    奈良先端科学技術大学院大学(NAIST),東京科学大学,出光興産は,原子層堆積(ALD)法を用いることで高性能かつ高機能な多結晶酸化物半導体 Ga 添加 In2O3(poly-IGO)ナノシートとそれをチャネル層に用いた...

    2025.06.10
  • ニコン,寸法を測定できる画像測定システムを発売

    ニコンソリューションズは,半導体デバイスをはじめとした,電子部品などの寸法を自動で測定できる画像測定システム「NEXIV VMF-K」シリーズを発売すると発表した(ニュースリリース)。受注開始は2024年12月。 半導体...

    2024.12.05
  • ニコン,半導体デバイス用ArF液浸スキャナー開発

    ニコンは,高い重ね合わせ精度と高スループットを実現し,最先端の半導体デバイス製造に対応するArF液浸スキャナー「NSR-S636E」の開発を進め,2023年の発売を予定している(ニュースリリース)。 DX(デジタルトラン...

    2021.10.20

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