低温レーザー照射による機能性セラミックスのマイクロ配線化プロセス

参考文献
1)西山宏昭,固体微粒子で被覆された金属を含む複合体の製造方法,特願2017-200202.
2)S. Harrisson, S. R. Mackenzie and D. M. Haddleton, “Pulsed laser polymerization in an lonic liquid: Strong solvent effects on propagation and termination of methyl methacrylate”, Macromecules, 36 (2003) 5072-5075.
3)T. Tanaka, A. Ishikawa and S. Kawata, “Two-photon-induced reduction of metal ions for fabricating three-dimensional electrically conductive metallic microstructure”, Applied Physics Letters, 88 (2006) 081107.
4)A. Simchi, “Direct laser sintering of metal powders: Mechanism, kinetics and microstructural features”, Materials Science and Engineering A, 428 (2006) 148-158.
5)D. A. Willis and V. Grosu, “Microdroplet deposition by laser-induced forward transfer”, Applied Physics Letters, 86 (2005) 244103.
6)B. Poumellec, P. Guénot, I. Riant, P. Sansonetti, P. Niay, P. Bernage, J. F. Bayon, “UV induced densification during Bragg grating inscription in Ge:SiO2 preforms”, Optical Materials, 4 (1995) 441-449.

7)B. Kang, S. Ko, J. Kim and M. Yang, “Microelectrode fabrication by laser direct curing of tiny nanoparticle self-generated from organometallic ink”, Optics Express, 19 (2011) 2573-2579.

■Low temperature direct laser writing process of functional ceramic materials
■Hiroaki Nishiyama

■Yamagata University, Japan

ニシヤマ ヒロアキ
所属:山形大学 大学院 理工学研究科

(月刊OPTRONICS 2019年5月号)

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