マイクロエプシロン、150kHz・サブミクロン精度のレーザー変位センサ「optoNCDT 5500」発売

Micro-Epsilon Japan（マイクロエプシロン）は、ハイエンドアプリケーション向けの新型レーザー変位センサ「optoNCDT 5500」の販売を開始した（ニュースリリース）。本製品は、サブミクロン単位の精度と最大150kHzという極めて高い測定レートを両立しており、変位や距離、振動、位置の動的測定において新たな基準を打ち立てる性能を備えている。

筐体は、コントローラを内蔵しながらも非常にコンパクトに設計されており、外部制御装置を必要としないため、スペースの限られた装置内への組み込みに最適である。測定範囲は10mm、25mm、100mm、200mmの4種類がラインアップされており、用途に応じた幅広い選択が可能となっている。

性能面では、1.5µmの直線性と、最小8nm（0.008µm）という極めて高い繰り返し精度を実現している。また、独自の「アドバンスドサーフェス補正」機能を搭載しており、最新のアルゴリズムによって、反射率が急激に変化する表面に対してもリアルタイムで露光時間を自動制御し、安定した測定結果を提供する。さらに、最大200,000ルクスまでの周囲光補正を行うインテリジェントな露光制御を備えており、非常に明るい環境下や、IP67の保護等級が求められる厳しい環境条件下での使用にも対応している。

設置・運用面では、特許取得済みの特殊な取り付けスリーブを採用している。これにより、センサ交換時のアライメント調整を最小化し、再現性の高い取り付けが可能となるため、高い計測精度が求められるユーザー装置への導入期間短縮に寄与する。セットアップについては、専用ソフトウェア「sensorTOOL」のほか、ウェブブラウザから直接設定を行うことも可能で、管理の容易さが図られている。出力インターフェースはイーサネット、RS422、アナログ出力、およびスイッチング出力に対応している。