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ArFエキシマレーザー

ArFエキシマレーザーの記事一覧

全3件中 1〜3件目を表示

  • ニコン，新型ArF液浸スキャナーを発売

    ニコンは，ミドルクリティカルレイヤー向けのArF液浸スキャナー「NSR-S625E」を発売すると発表した（ニュースリリース）。 アプリケーションの多様化に伴い，求められる半導体が多岐に渡る中，半導体の製造に欠かせない露光...

    2023.05.09

  • ギガフォトン，液浸露光装置向けArFエキシマレーザーを出荷

    ギガフォトンは1月，最先端の液浸露光装置向けArFエキシマレーザー、「GT65A」1号機を出荷したと発表した（ニュースリリース）。この製品はレーザーの安定稼働とプロセスマージンの向上を提供し，リソグラフィ装置の生産性向上...

    2018.02.28

  • ギガフォトン，新型ArFエキシマレーザーを発売

    ギガフォトンは，新製品として最先端の液浸露光（リソグラフィ）装置向けArFエキシマレーザー「GT65A」を発表した（ニュースリリース）。2017年内の出荷を目指す。 この製品は，同社のArFプラットフォームの特徴である，...

    2017.02.22

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