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成膜

成膜の記事一覧

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  • 住友重機械，ペロブスカイトPV向けの成膜技術を開発

    住友重機械工業は，次世代の太陽電池として期待されるペロブスカイト太陽電池に欠かせない電子輸送層と呼ばれる極薄の膜を，安価な材料を用いて環境負荷の少ないプロセスで形成する新規技術の開発に成功した（ニュースリリース）。 数種...

    2025.08.19

  • 名大，大面積ナノシート膜の高速成膜法を開発

    名古屋大学の研究グループは，酸化グラフェン，窒化ホウ素などの二次元物質（ナノシート）の高速・大面積成膜法（自発集積転写法）の開発に成功した（ニュースリリース）。 ナノシートの薄膜製造については，化学気相堆積（CVD）法，...

    2024.07.18

  • 名大，ナノシートの自動かつ高速な成膜法を開発

    名古屋大学の研究グループは，酸化物，グラフェン，窒化ホウ素などの二次元物質（ナノシート）を，1分程度の短時間で基板上に隙間なく配列して薄膜を作製する新技術「高速薄膜作製法」を開発した（ニュースリリース）。 グラフェンや無...

    2023.04.10

  • 名大ら，ベイズ最適化で成膜速度を2倍に

    名古屋大学，理化学研究所，グローバルウェーハズ・ジャパンは，逐次最適化のための機械学習手法であるベイズ最適化を，化学気相成長法（CVD 法）によるエピタキシャルSi膜の成長プロセス条件の最適化へ応用することにより，成膜品...

    2020.09.10

  • ウシオ，ALD成膜装置（原子層堆積装置）の販売を開始

    ウシオ電機は，フィンランドPicosun Oy（ピコサン）と日本における販売代行契約を締結し，ピコサンのALD成膜装置（原子層堆積装置）の販売を開始した（ニュースリリース）。 近年，MEMS分野を中心に高アスペクト比や微...

    2017.12.12

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