ウシオ，ALD成膜装置（原子層堆積装置）の販売を開始

京都大学とオーストラリア グラーツ工科大学は、有機半導体が基板上でつくる厚さ数nmの超薄膜の構造を分子レベルで正確に解明することに成功した（ニュースリリース）。 有機材料は同じ化合物でも複数の異なる結晶構造をとることがで…

東京大学と理化学研究所は、エピタキシャル成長した高品質な窒化チタン薄膜を用いて、損失の少ない高性能な薄膜振動子を作製することに成功した（ニュースリリース）。 微細加工技術によって作製された機械振動子は、光やマイクロ波を用…

筑波大学の研究グループは，電子デバイスなどの材料に用いる鉄酸化物薄膜の作製において，反応性スパッタ中に生じるプラズマ発光スペクトルの全波長データを機械学習で解析し，生成する薄膜の価数状態と成長速度をリアルタイムに推定する…

北海道大学の研究グループは，危険な水素ガスや複雑な圧力制御を用いずに，電界効果移動度約90cm2 /V·sの高性能薄膜トランジスタの開発に成功した（ニュースリリース）。 近年，次世代ディスプレー用薄膜トランジスタとして，…

住友重機械工業は，次世代の太陽電池として期待されるペロブスカイト太陽電池に欠かせない電子輸送層と呼ばれる極薄の膜を，安価な材料を用いて環境負荷の少ないプロセスで形成する新規技術の開発に成功した（ニュースリリース）。 数種…

東京理科大学，岡山大学，京都大学，筑波大学は，トポロジーと自由エネルギーを活用した機械学習（AI）解析を実施し，薄膜結晶の電気的特性に大きな影響を与える樹枝状構造の枝分かれメカニズムを明らかにした（ニュースリリース）。 …

大阪大学の研究グループは，二次元材料のひとつである六方晶窒化ホウ素（hBN）の上に，パルスレーザー蒸着法を用いて二酸化バナジウム（VO2）の薄膜結晶を成長させ，その厚さを薄くしても性能が劣化せず，約10nmの超薄膜におい…

東北大学，産業技術総合研究所，関東化学は，表面が粗いAuめっき膜を平滑なAu薄膜に重ねる付加的な平滑化手法を新たに開発した（ニュースリリース）。 次世代小型電子デバイスの実装工程には，熱によるダメージや残留応力を避けるた…