極端紫外光

北大ら，極端紫外フェムト秒光源で大気汚染を解析

北海道大学とデンマーク コペンハーゲン大学は，大気汚染物質PM2.5を構成する分子の一つであるo-ニトロフェノールへの光照射により亜硝酸が生成される過程を，極端紫外フェムト秒光パルス光源を用いて，光照射直後から亜硝酸が解 […]

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2021.01.13

理研ら，超高繰返し極端紫外超短パルス光源を開発

理化学研究所（理研）と東京大学は，二つの異なる波長域の極端紫外高次高調波を3MHzの超高繰り返しで同時に発生できるレーザー光源を開発した（ニュースリリース）。 極端紫外波長域の高次高調波は，コヒーレンス，短波長性，短パル […]

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2020.10.09

東大ら，極端紫外光で薄膜の微細加工に成功

東京大学，量子科学技術研究開発機構，宇都宮大学，産業技術総合研究所の研究グループは，近赤外域のフェムト秒レーザー光の高次高調波として極端紫外光を発生させ，その極端紫外光を回折限界にまで集光して試料に照射することによって， […]

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2020.05.15

ギガフォトンのEUV光源，発光効率5％で出力105Wを達成

エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）プロジェクトにおいて，ギガフォトンは最先端半導体製造ラインでの稼働を想定したEUVスキャナー用レーザー生成プラズマ光源を完成させ，出力105Ｗの安定運転と，世界最高水準である発 […]

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2016.10.21