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ダイシング

ダイシングの記事一覧

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  • PSFSら，プラズマダイシング向けレジスト塗布法を開発

    パナソニック スマートファクトリーソリューションズ（PSFS）とオーストリア イーヴィグループ（EVG）は，IoT向けセンサー・MEMS・RFID・CMOSイメージセンサーおよび薄型メモリー向けに開発されたプラズマダイシ...

    2019.03.13

  • パナと東京精密，プラズマダイシング向けレーザーパターニング装置発売

    パナソニック スマートファクトリーソリューションズ株式会社（PSFS）と東京精密は，共同開発したプラズマダイシング工法向けレーザーパターニング装置「AL300P」の受注を開始した（ニュースリリース）。 「AL300P」は...

    2018.03.13

  • 古河電工，レーザー+プラズマダイシング向けテープを開発

    古河電気工業は，「レーザーグルービング（溝加工）＋プラズマダイシング工法」向けの新たな半導体用テープ「プラズママスク付きバックグラインド（BG）テープ」及び「エキスパンド分割用ダイシング・ダイアタッチフィルム（D-DAF...

    2017.03.01

  • パナと東京精密，ウエハ加工装置で協業

    パナソニック ファクトリーソリューションズと東京精密は，メタル配線のあるセンサーやメモリーなどの半導体チップをウエハーからダメージレスで切り出す技術として，「レーザーグルービング（溝加工）＋プラズマダイシング工法」の普及...

    2017.02.20

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