真空紫外光による光加工技術の新展開
1. はじめに MEMSや半導体集積回路など,最先端デバイスの製造プロセスでは,フォトリソグラフィーやレーザーアブレーションに代表される,様々な光加工プロセスが中心的な役割を担ってきた。これらの加工法における最小加工サイ...
2016.10.12
若手研究者が実用化に向け,精力的に研究を行なっているテーマを発表するコーナーです。企業とのコラボレーションを希望するものですので筆者とのコンタクトも可能です。また,掲載を希望される方も募集しています。
1. はじめに MEMSや半導体集積回路など,最先端デバイスの製造プロセスでは,フォトリソグラフィーやレーザーアブレーションに代表される,様々な光加工プロセスが中心的な役割を担ってきた。これらの加工法における最小加工サイ...
2016.10.12
1. はじめに フラットな金属薄膜に入射した光は鏡面反射される。これに対し,プリズムを介するなど特殊な条件で光を入射することで,入射光を金属薄膜表面を伝播する自由電子の振動に変換することができる。この光と結合した自由電子...
2016.08.17
1. はじめに 光は波長領域は,その波長の長さによって紫外領域,可視領域,赤外領域に大きく分けられる。赤外領域は,波長の短い領域から近赤外,中赤外,遠赤外領域と細分化されており,中でも中赤外領域(2〜15μm)は,分子の...
2016.05.27
1. はじめに 液晶の屈折率異方性を応用して,入射光の波面を制御する液晶レンズや液晶偏向素子は,電圧の印加によってそのパラメータや極性を制御できるため,新しい光学デバイスとしての応用が期待されている1〜9)。一例として,...
2016.05.09
1. はじめに 光を用いた精密計測は,現代科学に不可欠な要素技術であり,これまでに多大な発展を遂げてきた。特に光の干渉現象を利用した光干渉計は,高分解能・高感度な光計測を可能にした。かつてはマイケルソンとモーレーが光干...
2016.04.05
1. はじめに 希土類イオンは特定の波長域において効率よく光増幅が可能なことから固体レーザやカラーディスプレイ用蛍光体,光ファイバ増幅器などへと広く応用され,光エレクトロニクスの発展を支えてきた。希土類イオンによる発光は...
2016.03.15
1. はじめに 機械のしゅう動面や固体の接触面には表面粗さ(微小凹凸)やうねりが存在している。粗さを有する金属同士では,実際に接触するのは肉眼では見えない微小突起同士である。この部分を真実接触部と言い,見かけの接触面積の...
2016.02.04
1. はじめに 表面プラズモン共鳴励起測定法は,金属薄膜/誘電体界面の光学情報を高感度に得ることのできる測定法である1)。そして,電気化学装置と組み合わせた表面プラズモン共鳴法の場合,表面プラズモン励起のために利用される...
2016.01.05
1. はじめに 光触媒は,光を吸収して有機物を酸化分解することができるため,環境浄化材として利用されている。近年,可視光で駆動する光触媒の開発が進み,今後は屋内向け光触媒市場の成長が見込まれている。有機物質に対する分解能...
2015.12.02
1. はじめに コメに対して社会は,高品質,低価格,安全安心を求めており,コメ生産現場では,高品質化に向けて栽培管理の基礎情報として,イネの草丈,茎数,葉色(生育量)を定期的に調査している。この調査(慣行測定)では,ひと...
2015.11.04