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成膜装置

成膜装置の記事一覧

全5件中 1〜5件目を表示

  • ラムリサーチ，パルスレーザー成膜装置を発売

    米ラムリサーチは，次世代MEMS技術によるマイクおよび無線周波数（RF）フィルターを実現する，世界初の量産向けパルスレーザー成膜（PLD）装置を発表した（ニュースリリース）。 この製品のシステムは，スカンジウム含有量の最...

    2024.04.02

  • 名大，ナノシートの自動かつ高速な成膜法を開発

    名古屋大学の研究グループは，酸化物，グラフェン，窒化ホウ素などの二次元物質（ナノシート）を，1分程度の短時間で基板上に隙間なく配列して薄膜を作製する新技術「高速薄膜作製法」を開発した（ニュースリリース）。 グラフェンや無...

    2023.04.10

  • サムコ，京大にペロブスカイト太陽電池用ALD納入

    サムコは，京都大学化学研究所 若宮研究室にペロブスカイト太陽電池向けALD（Atomic Layer Deposition，原子層堆積）装置を納入したと発表した（ニュースリリース）。 ペロブスカイト太陽電池は，光電変換効...

    2021.05.27

  • ウシオ，ALD成膜装置（原子層堆積装置）の販売を開始

    ウシオ電機は，フィンランドPicosun Oy（ピコサン）と日本における販売代行契約を締結し，ピコサンのALD成膜装置（原子層堆積装置）の販売を開始した（ニュースリリース）。 近年，MEMS分野を中心に高アスペクト比や微...

    2017.12.12

  • 日立ハイテクとピコサン社，原子層堆積装置を共同開発

    日立ハイテクノロジーズとフィンランド Picosun Oy（ピコサン社）は1月30日，プラズマを利用した原子層堆積（Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition，PE-ALD）装置の共同...

    2017.02.01

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