サムコ,京大にペロブスカイト太陽電池用ALD納入

サムコは,京都大学化学研究所 若宮研究室にペロブスカイト太陽電池向けALD(Atomic Layer Deposition,原子層堆積)装置を納入したと発表した(ニュースリリース)。

ペロブスカイト太陽電池は,光電変換効率の高い次世代太陽電池として期待されており,世界中で研究開発が進められている。今回納入したALD装置(型式AL-1WG)は,容積を小さくし,ガス消費を抑えた効率的な反応室構造を採用しているという。

また,オープンロード(反応室開閉)式の装置にグローブボックスを装備しており,大気にさらすことなく試料の出し入れが可能だとしている。

この装置のサイズは,1,680mm(W)×1,433mm(D)×2,182mm(H)。対応試料のサイズは最大ø230mm(ø8インチウエハー×1枚,ø4インチウエハー×3枚)。

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