サムコは，京都大学化学研究所 若宮研究室にペロブスカイト太陽電池向けALD（Atomic Layer Deposition，原子層堆積）装置を納入したと発表した（ニュースリリース）。

ペロブスカイト太陽電池は，光電変換効率の高い次世代太陽電池として期待されており，世界中で研究開発が進められている。今回納入したALD装置（型式AL-1WG）は，容積を小さくし，ガス消費を抑えた効率的な反応室構造を採用しているという。

また，オープンロード（反応室開閉）式の装置にグローブボックスを装備しており，大気にさらすことなく試料の出し入れが可能だとしている。

この装置のサイズは，1,680mm（W）×1,433mm（D）×2,182mm（H）。対応試料のサイズは最大ø230mm（ø8インチウエハー×1枚，ø4インチウエハー×3枚）。