ウシオ電機は，世界的に新たな環境規制物質として注目されている，PFAS（有機フッ素化合物）のうち，代表的な物質であるPFOS（ペルフルオロオクタンスルホン酸），PFOA（ペルフルオロオクタン酸）を，触媒や添加物を使用せず光を用いて1リアクターで分解・無害化できる技術を開発した（ニュースリリース）。
PFASは，人体への健康被害の実例が報告されて以来，欧米をはじめとして排出規制が定着しつつあるが，その難分解性から除去・無害化手法の確立が喫緊の課題となっている。PFASの分解方法は現在，活性炭で吸着後に焼却する高温焼却処理が検討されているが，吸着した活性炭の輸送，焼却のための燃料やそのエネルギーの消費，さらには活性炭焼却由来のCO2や温暖化係数の高いフッ素系温暖化ガスの大気放出が懸念されている。
これらの課題に対し，同社は真空紫外線技術を応用して，PFASを分解・無害化できる技術を開発した。具体的には，波長172nmの紫外線を発するエキシマランプを用いた光の力に，OHラジカル，水和電子を加えた3つの力でPFOA，PFOSを分解した結果，ｍg/Lと言う多量のPFOA，PFOSであっても一定時間で99％を分解できることを確認しているという。
これは常温常圧にて処理可能で，焼燃料・触媒・化学薬品添加物不要，光と電気エネルギーだけで分解可能だとする。また，分解反応の過程で想定外のフッ素化合物ができにくく，短鎖PFAS分子の分解も可能だとしている。
さらに，分解後に残った最終的な物質（HF，H+，F– ）は，水酸化カルシウムで最終処理することでフッ化カルシウムとして固定安定化が可能（別用途への再利用可能）で，PFAS濃縮技術との組み合わせにより高い分解効率を実現可能だという。
同社は，今後は実用化に向けさらに研究・開発を進め，2025年度に実証実験を開始し，2027年の事業化を目指しすとしている。
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