ギガフォトンは，半導体露光装置の稼働モニタリングと解析を行なうオープン・プラットフォーム「FABSCAPE™」を3月より提供すると発表した（ニュースリリース）。
多くの半導体メーカーにとって，様々な装置から出力される大量のデータを収集し，解析，活用することは困難な作業であり，かねてより懸案事項だった。このプラットフォームは，メーカーを問わず一律にデータを扱うことを可能にする目的で開発されたオープン・プラットフォーム。
プラグインやドライバーを拡張させることにより，すべての装置のデータを統一化することも可能となり，ユーザーは同一条件でより広範囲に，異なる装置間の重要なパフォーマンス・データの解析と評価ができるようになる。
また，ユーザーが様々な機能のプラグインやドライバーを開発し組み合わせることで，アプリケーションをそれぞれのニーズに合わせて最適化することが可能。今後，ビジュアライザーツールのほか，リソグラフィ装置組（リソセル）単位で自動的にメンテナンススケジュールを最適化するプラグイン，AIエンジンを活用した自動化用プラグインも提供する予定。
同社は，データ統一化のソリューションをともに開発する半導体メーカーや装置メーカー，その他の機関に対してこのプラットフォームをオンラインで提供する予定。更に，APIやサンプルコード，チュートリアル，ワークショップなど豊富な開発者向けツールを提供し，FABSCAPE™プラットフォームの普及を促進していく。
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