2016年12月16日

SCREEN，仏研究機関にレーザーアニール装置を納入

著者： sugi

SCREENセミコンダクターソリューションズと仏CEA Techの研究機関である電子情報技術研究所（Leti）は，ナノ秒単位で処理を行うSCREENのUVレーザーアニール装置「LT-3100」をLetiの拠点に導入し，両者の協力関係をさらに強化することに合意した（ニュースリリース）。

LT-3100は，SCREENのグループ会社でフランスに拠点を置くLaser Systems and Solutions of Europe SASU（LASSE）が製造開発を行なっている。

Letiは，SOIや3次元ICのCoolCube，ナノワイヤーなどの技術開発において，新しい特性を持った素材や，最小限のサーマルインパクトでの超薄膜改質などの開発を行なっている。LT-3100を活用することによって，技術的な突破口となるソリューションが実現し，いずれは実用化できる開発につながることに期待するとしている。

このレーザーアニール装置は，2017年の上半期に本格稼働する予定で，さまざまなウエハーサイズをサポートすることで，Letiの各ラボで求められる異なるニーズに対応する。

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