レーザーアニール

レーザーアニールの記事一覧

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  • 京セラと東北大、光回路上で光アイソレーターを集積 CPO開発の高効率化へ

    京セラと東北大学は、レーザー光による局所的な熱処理手法「レーザーアニール」を用いて、シリコン光回路上に光アイソレーターを集積する技術を開発した(ニュースリリース)。 光回路と電子回路を半導体チップと同一パッケージに集積す...

    2026.10.01
  • JSTら,大型ディスプレー向けTFTアニーリング装置を開発

    科学技術振興機構(JST),山形大学,ブイ・テクノロジーは,FPDの画素点灯を制御する薄膜トランジスタ素子(TFT)のチャネル領域のみをレーザーアニール処理することでTFT素子を高速化した(ニュースリリース)。 現状,特...

    2019.02.25
  • SCREEN,仏研究機関にレーザーアニール装置を納入

    SCREENセミコンダクターソリューションズと仏CEA Techの研究機関である電子情報技術研究所(Leti)は,ナノ秒単位で処理を行うSCREENのUVレーザーアニール装置「LT-3100」をLetiの拠点に導入し,両...

    2016.12.16

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