科学・技術

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3D白色干渉顕微鏡による三次元表面性状測定とその応用

近年の微細加工における精度の向上は目覚ましく,加工部品の表面に仕上げ加工を施し,機能性を付すことで付加価値を高めるプロセスが広く実用化されている。例えば表面加工によって摩擦を低減,または付加することで部品同士の動力伝達を […]
産総研,転位密度400個cm-2の低欠陥単結晶ダイヤモンドウエハのコピー技術を実証

産総研,転位密度400個cm-2の低欠陥単結晶ダイヤモンドウエハのコピー技術を実証

産業技術総合研究所(産総研)は,ダイレクトウエハ化技術により,転位など欠陥の極めて少ない気相合成単結晶ダイヤモンドウエハを作製できるダイヤモンドウエハの低欠陥コピー技術を実証した(ニュースリリース)。 ダイヤモンド基板の […]