i線ステッパー

i線ステッパーの記事一覧

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  • キヤノン,新投影レンズ搭載の半導体露光装置を発売

    キヤノンは,半導体露光装置の新製品として,新開発の投影レンズを搭載したi線ステッパー「FPA-3030i6」を2024年9月24日に発売すると発表した(ニュースリリース)。 この製品は,高い透過率が特長のレンズ硝材を採用...

    2024.09.24
  • ニコン,縮小投影倍率5倍i線ステッパーを発売

    ニコンは,パワー半導体,通信用半導体,MEMSなど様々なデバイスに対応し,同社の既存のi線露光装置との互換性が高い縮小投影倍率5倍i線ステッパー「NSR-2205iL1」を発売すると発表した(ニュースリリース)。 電気自...

    2023.09.05

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