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DUVレーザー

DUVレーザーの記事一覧

全3件中 1〜3件目を表示

  • 東大ら，DUVレーザーで半導体基板に3μm穴あけ加工

    東京大学，三菱電機，味の素ファインテクノ，スペクトロニクスは，次世代の半導体製造「後工程」に必要な，パッケージ基板への3μmの極微細レーザー穴あけ加工技術を開発した（ニュースリリース）。 近年，EUV露光技術の発展により...

    2024.05.31

  • 旭化成と名大，UV-C LDの室温動作発振を実現

    名古屋大学と旭化成は，世界で初めてUV-C帯域274nmの深紫外半導体レーザー（UV-C LD）の室温連続発振に成功した（ニュースリリース）。 深紫外半導体レーザー（またはレーザーダイオード）は，殺菌やウイルス検知，ヘル...

    2022.11.25

  • ダウ，CMPスーパ研磨LBO結晶を販売

    ダウは，リトアニアのUVIR製「CMPスーパ研磨LBO結晶」を取り扱っている（会社HP）。 LBO（LiB3O5）結晶はここ5年間で，結晶成長・研磨・コート技術が飛躍的に進歩し，結果的に他の非線形光学結晶とは大きな格差が...

    2022.10.18

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