ダウ,CMPスーパ研磨LBO結晶を販売

ダウは,リトアニアのUVIR製「CMPスーパ研磨LBO結晶」を取り扱っている(会社HP)。

LBO(LiB3O5)結晶はここ5年間で,結晶成長・研磨・コート技術が飛躍的に進歩し,結果的に他の非線形光学結晶とは大きな格差ができているという。

特にUVIRのCMPスーパ研磨技術は画期的な技術革新であり,研磨面の凹凸RがR<3ÅのCMPスーパ研磨の機械化に成功し,入出射面の吸収ロスが<1PPMとなっているとする。

このLBO結晶の損傷閾値は,@1064nm+@532nmARコート付きおよび@355nmARコート付きで,50GW/cm2となり,532nm・355nmの大出力のグリーン・UVレーザーが製品化され,266nmのDUVレーザーでも大きな期待が寄せられているとしている。

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