ArF液浸スキャナー

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  • ニコン,新型ArF液浸スキャナーを発売

    ニコンは,ミドルクリティカルレイヤー向けのArF液浸スキャナー「NSR-S625E」を発売すると発表した(ニュースリリース)。 アプリケーションの多様化に伴い,求められる半導体が多岐に渡る中,半導体の製造に欠かせない露光...

    2023.05.09

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