液浸露光光源

ギガフォトン，最先端液浸露光光源が本格稼働

ギガフォトンは，最先端ArF液浸リソグラフィ光源「GT66A」が，世界の半導体メーカーで本格的に稼働していることを発表した（ニュースリリース）。 昨今，デジタル機器やクラウド設備が世界規模で急速に増加し，これらに使われる […]

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2021.11.02