光電光度法

産総研，フッ素系ガス検知技術を開発

産業技術総合研究所（産総研）は，最先端の半導体製造プロセスにおいて用いられているエッチング用のフッ素系ガス成分を，選択的かつ高感度（2ppmを1分以内）に検知できる検知剤を開発するとともに，開発した検知剤を搭載したコンパ...

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