ステップアンバンチング

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  • 早大ら,半導体表面を原子レベルの平坦にする現象

    早稲田大学,名古屋大学,中国内モンゴル民族大学,日本原子力研究開発機構は,半導体表面を原子レベルで平坦にする新技術として応用可能な,ステップアンバンチング現象を発見した(ニュースリリース)。 SiCウエハーの表面に凹凸が...

    2023.07.21

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