令和７年度リフレッシュ理科教室-現代テクノロジー講座-「半導体デバイス作製に欠かせない光リソグラフィ技術」

12:30～13:00 受付
13:00～13:10 開会の辞　裏 升吾（支部長、京都工芸繊維大学）
13:10～13:50 講演会「光で半導体微細回路を描く～放射光施設におけるEUVリソグラフィ研究～」
　　　　　　　山川 進二（兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所）
　休憩（20分）

14:10～15:40 実験講座「分光器や偏光板で光の制御を体験する」
　　　　　　　山川 進二（兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所）
　　　　　　　　※回折格子を用いた分光実験により、蛍光灯やLEDに含まれるスペクトルの違いを体験してもらいます。
　休憩（10分）

15:50～16:20 島津製作所 基盤技術研究所（みらい共創ラボ）見学
　移動（10分）

16:30～18:00 意見交換・懇親会