窒素中微量水分計

熊本大ら，光学式窒素中微量水分計を開発

熊本大学と大陽日酸の研究グループは，水分の吸着・脱離に応じて光学特性が変化する金属有機構造体の性質を用いた窒素中微量水分計の開発に成功した（ニュースリリース）。 半導体の製造をはじめとした多くの産業に使用される高純度ガス […]

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2020.03.23