マイクロホットプレート

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  • 技科大,ガスセンサー向けマイクロホットプレート作製

    豊橋技術科学大学は高分子材料であるSU-8を用いてマイクロホットプレート(MHP)を作製した(ニュースリリース)。このMHPを用いることでスマートガスセンサーのレイアウト設計やプロセス条件に対する技術要求を緩和することが...

    2017.03.06

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