SCREEN，200mm対応ウエハー洗浄装置を発売

SCREENセミコンダクターソリューションズは，スクラバ方式の枚葉式ウエハー洗浄装置（スピンスクラバ）の新たなラインアップとして，200mmウエハー対応モデル「SS-3200 for 200mm」を開発すると発表した（ニュースリリース）。2024年12月に販売を開始。

近年，EV・自動運転関連の車載デバイスや電力制御用機器を中心に，次世代のパワーデバイスへの需要が急速に高まっている。また，半導体製造装置メーカーにおいては，デバイスの製造プロセスにおける省エネルギー化をはじめ，環境負荷の低減が責務となっている。

このような動向を背景に同社は，200mmウエハーに対応したスピンスクラバ「SS-3200 for 200mm」を開発した。この装置は，スピンスクラバのデファクトスタンダード「SS-3200」で評価の高いウエハー洗浄技術，チャンバー設計，搬送システム，プラットフォームなどを，200mm対応装置として継承し，最適化したという。

200mm向けスピンスクラバとして業界最高レベルとなる，同社従来モデル比で3倍を超える最大毎時500枚のハイスループットを実現している。また，装置稼働時のウエハー1枚当たりの純水使用量の削減を実現するなど，環境負荷を低減する装置だとしている。

さらに，スライドアウト式スピンチャンバーの採用に加え，搬送エリアへのアクセスが容易なため，メンテナンス性にも優れている。その他，従来モデルと同様にオプションでホットプレートの搭載も可能なため，MEMSなど立体構造のデバイスの乾燥にも最適だという。