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SCREEN，200mm対応ウエハー洗浄装置を発売

SCREENセミコンダクターソリューションズは，スクラバ方式の枚葉式ウエハー洗浄装置（スピンスクラバ）の新たなラインアップとして，200mmウエハー対応モデル「SS-3200 for 200mm」を開発すると発表した（ニ...
2024.11.06
SCREEN，枚葉式洗浄装置を発売

SCREENセミコンダクターソリューションズは，高い処理能力と安定したプロセス処理性能の両立により，高い生産性を実現した枚葉式洗浄装置「SS-3300S」の販売を開始した（ニュースリリース）。近年，テレワーク，オンライ...
2020.12.10
ウシオ，小型エキシマ照射装置を発売

ウシオ電機は，自動車部品やスマートフォン製造プロセスにおける接着・封止工程の前処理用として，172nm真空紫外光（エキシマ光）照射によって部品のドライ洗浄や親水化，接着性を向上させる「HPV-ST Series（HPV-...
2020.07.30

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