SCREEN,枚葉式洗浄装置を発売

SCREENセミコンダクターソリューションズは,高い処理能力と安定したプロセス処理性能の両立により,高い生産性を実現した枚葉式洗浄装置「SS-3300S」の販売を開始した(ニュースリリース)。

近年,テレワーク,オンライン授業,ストリーミング配信などによるデータトラフィック量の増加に伴い,データセンター市場が拡大。それに加えて,5G対応スマートフォンや車載・産業機器を中心としたIoTインフラの急速な普及により,これら先端市場に向けた高度な半導体デバイスへの需要が高まっている。

しかし,高度なロジックやメモリーなどの半導体デバイスでは,回路のさらなる微細化や高集積化が進んでおり,半導体製造プロセスにおいて,これまで以上に微小なパーティクルの除去が必要となる。そのため,より一層優れた洗浄性能と安定したプロセス処理性能を併せ持つ,生産性の高いスクラバー方式(ウエハーを柔らかいブラシと純水で物理的に洗浄する方式)の枚葉式洗浄装置へのニーズが高まっているという。

この装置は,全世界への500台以上の出荷実績から業界のデファクトスタンダードとなっている「SS-3200」で高い評価を得ている,安定したプロセス処理性能を継承。これまで培ってきたプロセス条件をそのまま「SS-3300S」で踏襲できるなど,スムーズな装置導入が可能となるとしている。

また,スクラバー方式としては業界初となる,最大16チャンバーの搭載を可能にする新プラットフォームを採用。加えて,新たなデュアル搬送システムにより,装置面積当たりの生産量を大幅に向上させ,業界最高レベルの最大毎時1,000枚(従来比25%アップ)という実用処理能力を実現している。

さらに,制御システムを刷新することで,製造工程のスマートファクトリー化に伴う装置のIoT化や装置間の連携にも対応しているという。

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