名大,原子拡散を用いたナノワイヤの大量成長を実現

著者: admin

名古屋大学の研究グループは,薄膜内極細結晶粒を制御することによる金属原子の大量輸送の原理を発見し,原子拡散を活用したアルミニウムナノワイヤの大量森状成長手法を開発した。(ニュースリリース

ウィスカとも呼ばれる1次元ナノ材料の一種である純金属ナノワイヤは,人髪の1000分の1ほどの小さな直径と数百マイクロメートルほどの長さを持つナノテクノロジーにおいて有望な材料の一つ。

特に基板に自立成長した欠陥の少ない単結晶純金属ナノワイヤは,次世代センシングデバイスとしてのガスセンサやバイオマーカー,次世代オプトエレクトロニクスとしてのプラズモン導波路への応用など,広範囲なマイクロ・ナノデバイスの構成材料として注目されており,その量産法の確立が急務となっている。しかし,原子の自己組織化で純金属ナノワイヤを大量に作り上げる技術が存在しなかった。

そこで研究グループは,固相中で原子を大量に運ぶ手段として固相中におけるナノスケール物質輸送現象である原子拡散を採用し,まるで森をつくるように大量のアルミニウムナノワイヤを希望した箇所に成長させる技術を確立した。

ポイントは,原子拡散の源である力(駆動力)を薄膜内部の結晶粒に着目して作り出したことにある。イオンビーム照射によって薄膜表層のみの結晶粒を粗粒化させ,薄膜表層では粗粒,薄膜下層では細粒となる粒勾配を作り出し,この粒勾配が原子拡散の駆動力を増大させる引き金になるという仕組みを有限要素解析による数値計算で明らかにした。

イオンビーム照射後に薄膜を加熱すると,原子はいくつかの過程を経て運搬されナノワイヤに成長するための準備段階に入る。まず,降伏応力の粒径依存性に由来して粒勾配が原子の上昇流を引き起こし,多くの原子を薄膜表面に運搬する。

その後,降伏応力の方位依存性に由来して特定粒に向かった原子の流れ込みが生じる。これらの原子の流れはいずれも静水圧応力勾配に基づいており,有限要素解析によってその値を算出することが可能となる。たくさんの原子をため込んだ粒は,それを解放するようにナノワイヤとして成長する。

原子拡散を用いて作られたアルミニウムナノワイヤの本数密度は最大180×105本/cm2を得る成果(表面被覆率0.51%)を実証した。またこの成果は,成長プロセスの仕組みを透過電子顕微鏡観察と有限要素解析による数値シミュレーションの併用で明らかにした。

研究グループは,原理的には他の金属にも拡張可能であり,これまで閉ざされてきた原子の自己組織化による金属ナノワイヤ製造技術の出発点になると期待されるとしている。

キーワード:

関連記事

  • 東北大ら,光輸送するナノチェーンを開発し機構解明

    東北大ら,光輸送するナノチェーンを開発し機構解明

    東北大学,東京理科大学,京都大学,帝京科学大学は,鎖長や内部構造が一義に規定された金属錯体分子鎖(ナノチェーン)を系統的に合成・単離することに成功した(ニュースリリース)。 近年,デバイスの小型化と省エネルギー化が求めら…

    2025.02.07
  • 電通大,Si上に高密度・高均一量子ナノワイヤー作製

    電気通信大学の研究グループは,従来よりも10倍以上の高い密度で,かつ細線直径の標準偏差が10%以下の高均一なInAs(インジウムヒ素)量子ナノワイヤー(量子細線)を Si(シリコン)基板上に作製する技術を開発した(ニュー…

    2023.11.10
  • 北大ら,多重量子井戸型半導体ナノワイヤ作製に成功

    北海道大学,東京大学,東レリサーチセンター,スウェーデン リンショピン大学は,発光・受光機能と熱安定性に優れたガリウムヒ素・ガリウムインジウム窒素ヒ素半導体ナノワイヤを,シリコン基板上に多重量子井戸構造を持つナノワイヤと…

    2023.09.28
  • 岡山大ら,原子層半導体の一次元構造化に成功

    岡山大学,東京都立大学,産業技術総合研究所は,原子レベルに薄い半導体材料(遷移金属ダイカルコゲナイド,TMDC)の「ナノリボン」と呼ばれる一次元構造の合成に成功した(ニュースリリース)。 単層が原子3個分の厚みをもつ原子…

    2023.05.16
  • 北大ら,光機能性ナノワイヤをSiウエハーに大量集積

    北海道大学,愛媛大学,東京大学は,発光・受光機能に優れたガリウムヒ素系半導体ナノワイヤをシリコンウエハー全面に大容量で集積することに成功した(ニュースリリース)。 III-V族化合物半導体とシリコンエレクトロニクスとの統…

    2023.02.07
  • 東工大,高保磁力単結晶ナノワイヤを簡便に作製

    東京工業大学の研究グループは,線幅30nmのコバルトと白金の交互積層ナノワイヤのアニール(加熱)処理のみで,10kOe以上の高保磁力を有するL10規則化強磁性単結晶ナノワイヤを作製する「ナノ構造誘起法」を開発した(ニュー…

    2022.11.02
  • 都立大,ウィスカー結晶の形成メカニズムを解明

    東京都立大学の研究グループは,有機物のウィスカー結晶が,発生した気泡に追随して形成されることを発見し,不純物を混入することで,ウィスカー結晶の抑制に成功した(ニュースリリース)。 マクロの結晶形態(モルフォロジー)は周囲…

    2022.06.17
  • JAISTら,電顕下で金属ナノ接点のヤング率測定

    北陸先端科学技術大学院大学(JAIST)と金沢大学は,(111)方位を軸とした金ナノ接点を引っ張る過程を透過型電子顕微鏡で観察しながら,等価ばね定数と電気伝導の同時に測定する手法(顕微メカニクス計測法)によって,金ナノ接…

    2022.04.12

新着ニュース

人気記事

新着記事

  • オプトキャリア