「OCTの産業計測への応用」
santec LIS株式会社 研究開発グループ システム開発チーム
エキスパート 大矢 正人 氏

OCT(OCT: Optical coherence tomography)は、非侵襲に対象物の内部を数µmオーダーで可視化する方法であり、医用応用の分野では眼科（眼底検査、白内障手術のための検査など）・皮膚科（がん検査など）・心臓血管でのカテーテル検査での診療で多く使われてきた。一方で、工業応用の分野でも、半導体・電池・自動車などの分野で導入が進んできており、それぞれの分野で厚み測定や内部と表面の欠陥検査、形状計測などで使用されている。また、画像解析の手法も進み、計測へ応用されてきている。今回、OCTの工業用途での応用を中心に発表を行う。