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科学・技術

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静大,トランジスタ界面欠陥を高精度で観測

静岡大学は,シリコン・トランジスタの界面欠陥を高精度で観測する技術を確立した(ニュースリリース)。 トランジスタの性能は界面近傍に存在する欠陥により大きく劣化するため,界面欠陥を高精度で観測する評価手法が必要とされていた […]