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3D白色干渉顕微鏡による三次元表面性状測定とその応用

近年の微細加工における精度の向上は目覚ましく,加工部品の表面に仕上げ加工を施し,機能性を付すことで付加価値を高めるプロセスが広く実用化されている。例えば表面加工によって摩擦を低減,または付加することで部品同士の動力伝達を […]
埼玉大ら,光学式膜厚測定装置を組込んだマイクロマシン用静電塗布装置を開発

埼玉大ら,光学式膜厚測定装置を組込んだマイクロマシン用静電塗布装置を開発

埼玉大学 とアイテーオーは,多くの電子デバイスの製造工程に用いられているレジスト膜の塗布速度の高速化・膜厚の均一性に対応するため,光学式で膜厚を大面積一括に高速する測定技術を確立し,これを組み込んだ静電塗布装置およびリア […]