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ArFの記事一覧

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ギガフォトン，最新ArF液浸光源機種を出荷

ギガフォトンは，新型ArF液浸露光装置用光源「GT80A」を出荷したと発表した（ニュースリリース）。最先端デバイス製造においては，微細化と共に高い生産性が求められている。これらの最先端デバイスでは，ウエハーに転写される...
2024.04.02
ニコン，新型ArF液浸スキャナーを発売

ニコンは，ミドルクリティカルレイヤー向けのArF液浸スキャナー「NSR-S625E」を発売すると発表した（ニュースリリース）。アプリケーションの多様化に伴い，求められる半導体が多岐に渡る中，半導体の製造に欠かせない露光...
2023.05.09
ギガフォトン，最先端液浸露光光源が本格稼働

ギガフォトンは，最先端ArF液浸リソグラフィ光源「GT66A」が，世界の半導体メーカーで本格的に稼働していることを発表した（ニュースリリース）。昨今，デジタル機器やクラウド設備が世界規模で急速に増加し，これらに使われる...
2021.11.02
ニコン，半導体デバイス用ArF液浸スキャナー開発

ニコンは，高い重ね合わせ精度と高スループットを実現し，最先端の半導体デバイス製造に対応するArF液浸スキャナー「NSR-S636E」の開発を進め，2023年の発売を予定している（ニュースリリース）。 DX（デジタルトラン...
2021.10.20
ギガフォトン，微細化対応リソグラフィ光源を量産

ギガフォトンは，新技術を採用した最新半導体製造ArF液浸用リソグラフィ光源「GT66A」の量産出荷を開始した（ニュースリリース）。最先端デバイス製造は，現在，ロジックデバイスでは3nmノードのプロセス開発が開始，DRA...
2020.12.22

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