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ナノインプリント

ナノインプリントの記事一覧

全21件中 1〜10件目を表示

  • キヤノン、世界初 ナノインプリントリソグラフィ技術を応用したウエハー平坦化技術

    キヤノンは、ナノインプリントリソグラフィ（NIL）技術を応用し、ウエハーを平坦化する「Inkjet-based Adaptive Planarization」（IAP）技術を開発し、世界で初めて実用化した（ニュースリリー...

    2026.01.15

  • NIMSら，ガラス基板に周期構造を簡易に転写

     物質・材料研究機構（NIMS）と米コネティカット大学は，ポリジメチルシロキサン（PDMS）という汎用材料の表面に形成したナノ/マイクロメートルスケールの周期構造（周期微細構造）を，ガラス基板に簡単に転写できる手法を開発...

    2025.04.18

  • 東京科学大ら，UVナノインプリントをシリフォトへ

    東京科学大学と東京応化工業は，UVナノインプリント（UV-NIL）を用いたシリコンフォトニクスプロセスを開発した（ニュースリリース）。 ナノインプリントリソグラフィ（NIL）は，ナノスケールのスタンプを用いた押印技術であ...

    2025.01.31

  • キヤノン，ナノインプリント半導体製造装置を発売

    キヤノンは，半導体デバイスの回路パターンの転写を担うナノインプリント半導体製造装置「FPA-1200NZ2C」を2023年10月13日に発売したと発表した（ニュースリリース）。 これまでの投影露光技術とは異なる方式でパタ...

    2023.10.18

  • 北大，UVナノインプリントの樹脂設計に新知見

    東京理科大学の研究グループは，4種類のUV硬化樹脂を対象に，UVナノインプリントリソグラフィにおける数ナノメートル幅の微細なトレンチ（溝）への充填過程について分子動力学シミュレーションを行ない，充填の成功に必要な主な分子...

    2022.08.09

  • EVG，NIL向け製造サービスを開始

    オーストリアEV Groupは，ユーザーを支援する新サービスとして，「EVGステップ＆リピート（S&R）マスタリングショップ」を設立したことを発表した（ニュースリリース）。 このサービスでは，最新のEVG製装置...

    2021.08.03

  • NTT-AT，高屈折率ナノインプリント樹脂を開発

    NTTアドバンステクノロジ（NTT-AT）は，屈折率1.8，1.9の高屈折率ナノインプリント樹脂を開発した（ニュースリリース）。2021年6月からの提供開始を予定している。 近年の視野角拡大を目的としたAR／VR向けガラ...

    2021.03.31

  • 理科大ら，大面積モスアイフィルム製造方法を確立

    東京理科大学とジオマテックは，スパッタ成膜法でグラッシーカーボン（GC）薄膜をガラス基板上に堆積させ，この基板に酸素プラズマを照射することで，反射を防止するモスアイ構造を作製する方法を開発した（ニュースリリース）。 反射...

    2020.11.06

  • JXTGエネ，ナノインプリント無機光学素子を発売

    JXTGエネルギーは，ナノインプリント技術による商品「Nanoable（ナノアブル）」のラインナップのひとつとして，新たに高耐熱拡散板「Nanoable Diffuser（ナノアブル・ディフューザー）」および高耐熱回折光...

    2020.06.10

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