理科大ら,大面積モスアイフィルム製造方法を確立

著者: sugi

東京理科大学とジオマテックは,スパッタ成膜法でグラッシーカーボン(GC)薄膜をガラス基板上に堆積させ,この基板に酸素プラズマを照射することで,反射を防止するモスアイ構造を作製する方法を開発した(ニュースリリース)。

反射を防止する構造の代表的なものとして,モスアイ構造がある。モスアイ構造は,微細な凸凹構造により連続的に屈折率が変化することで,反射が抑えられる。これまでモスアイ構造を作成するさまざまな方法が提案されており,研究グループもこれまでにグラッシーカーボン(GC)基板に酸素イオンビームを照射することで,モスアイ構造を形成する手法を開発している。しかし,GC基板は大面積化が難しいという欠点があった。

基板上に紫外線硬化樹脂を滴下し,その上にテンプレート(鋳型)となる型を押し当てて紫外線を照射して紫外線硬化させた後,型をはがすことでパターン構造を形成する光ナノインプリントリソグラフィ技術(UV-NIL)は,大面積のモスアイ構造を作成するのに有望な技術。

そこで研究グループは,スパッタ成膜法でGC薄膜をガラス基板上に堆積させ,この基板に酸素プラズマを照射することでモスアイ構造を作製した。これまでの方法では酸素イオンビームの照射範囲が狭かったことから,今回は照射範囲が広い酸素イオンビームを有する誘導結合プラズマ装置を使用した。そして得られたモスアイ構造を鋳型としてUV-NILで樹脂に転写することで,モスアイ構造を持つ大面積フィルムを得た。

モスアイ構造による影響を調べるため,表面が平滑な光硬化樹脂を準備し,光学的な特徴を比較した。その結果,550nm付近の透過率は平滑な光硬化樹脂で約86%であったのに対し,作成したモスアイ構造の約94%といずれも良好な透過性を示した。一方,可視光域における反射率は平滑な光硬化樹脂で約4%であったのに対し,作成したモスアイ構造の約0.4%と,優れた反射防止性能を示したという。

この研究により,これまで難しかった大面積(1m級)のモスアイ構造の作製が可能となる基本技術が確立できたとする。大面積ロールにモスアイ構造が作製できれば,フラットパネルディスプレー,デジタルサイネージ,コロナ対策で使用が広がる透明アクリル仕切り版など様々なものに応用でき,反射がなく視認性の良い環境が提供できるようになるとしている。

キーワード:
 

関連記事

  • キヤノン、世界初 ナノインプリントリソグラフィ技術を応用したウエハー平坦化技術

    キヤノンは、ナノインプリントリソグラフィ(NIL)技術を応用し、ウエハーを平坦化する「Inkjet-based Adaptive Planarization」(IAP)技術を開発し、世界で初めて実用化した(ニュースリリー…

    2026.01.15
  • 東大ら,テラヘルツ~深紫外で98%超の吸収構造実現

    東大ら,テラヘルツ~深紫外で98%超の吸収構造実現

    東京大学,フィンランドUniversity of Eastern Finland,リトアニアState Research Institute Center for Physical Sciences and Techno…

    2025.06.16
  • NIMSら,ガラス基板に周期構造を簡易に転写

     物質・材料研究機構(NIMS)と米コネティカット大学は,ポリジメチルシロキサン(PDMS)という汎用材料の表面に形成したナノ/マイクロメートルスケールの周期構造(周期微細構造)を,ガラス基板に簡単に転写できる手法を開発…

    2025.04.18
  • 東京科学大ら,UVナノインプリントをシリフォトへ

    東京科学大学と東京応化工業は,UVナノインプリント(UV-NIL)を用いたシリコンフォトニクスプロセスを開発した(ニュースリリース)。 ナノインプリントリソグラフィ(NIL)は,ナノスケールのスタンプを用いた押印技術であ…

    2025.01.31
  • 【OPK】反射防止構造を付与した窓材やファイバ端面検査装置をデモ

    光・レーザー関西(OPK2024 7月17日,18日 マイドームおおさか)にてソーラボジャパン(ブースNo.O-04)は,「ファイバ端面検査装置VSD500」と「テクスチャー広帯域反射防止ウィンドウ」をデモ展示している。…

    2024.07.18
  • 中部大,10%まで伸ばせる反射防止膜材料を開発

    中部大学は,最大約10%まで伸ばしてもクラックが入らない新しい薄膜材料を開発した(ニュースリリース)。 テレビの画面,透明なガラスやプラスチックの向こうにある景色や物は,後ろから照らす太陽光や室内用照明の反射で見えにくく…

    2023.12.13
  • キヤノン,ナノインプリント半導体製造装置を発売

    キヤノンは,半導体デバイスの回路パターンの転写を担うナノインプリント半導体製造装置「FPA-1200NZ2C」を2023年10月13日に発売したと発表した(ニュースリリース)。 これまでの投影露光技術とは異なる方式でパタ…

    2023.10.18
  • 北大,UVナノインプリントの樹脂設計に新知見

    東京理科大学の研究グループは,4種類のUV硬化樹脂を対象に,UVナノインプリントリソグラフィにおける数ナノメートル幅の微細なトレンチ(溝)への充填過程について分子動力学シミュレーションを行ない,充填の成功に必要な主な分子…

    2022.08.09

新着ニュース

人気記事

編集部おすすめ

  • オプトキャリア