三菱電機は，パワー半導体の製造（ウエハープロセス工程）を行なうパワーデバイス製作所 福山工場に，12インチSi（ケイ素）ウエハー対応生産ラインの設置を完了したと発表した（ニュースリリース）。
近年，脱炭素社会の実現に向け，電力を効率よく制御するパワー半導体の需要が拡大している。パワー半導体は，電気自動車，エアコン等の民生機器，産業用機器，再生可能エネルギー，電鉄などの製品に広く使用されており，需要拡大にも対応し，安定的に供給することが求められている。
同社は，Siパワー半導体のウエハープロセス工程における生産能力を2025年度に2020年度比で約2倍に増強するため，生産効率に優れる12インチウエハー対応生産ラインの導入によりパワー半導体の生産能力を増強し，市場への安定供給を狙う。
この生産ラインで製造したウエハーを用いたパワー半導体チップを試作・評価した結果，設計どおりの性能が得られたことを確認したという。同社ではこの12インチSiウエハー対応生産ラインを，公表どおり2024年度から量産移行する予定だとしている。
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