ブルカー,非接触3次元光学顕微鏡を発売

ブルカージャパンは,LightSpeedフォーカスバリエーションを用いた新しいシステム「Contour LS-K 非接触3次元光学顕微鏡」の発売を開始する(会社HP)。

この製品は,高度なアルゴリズムを用いたフォーカシング技術であるLightSpeedフォーカスバリエーション技術を使用し,従来の方法と比較して高速・非接触な表面計測が可能となる。スキャン速度は5mm/秒(Zスキャン速度),最大単一視野は8×6mm2(1測定)。

5MピクセルCCDを搭載し,高速・高解像度リアルカラーイメージングを得られる。また,ソフトウェアは30年以上にわたり開発されたVision64®をベースに構築しており,データ処理,分析,および視覚化・定量化のための独自のソフトウェアアルゴリズムを特長としている。さらに,自動X-Yステージ,電動式5ポジション対物タレット,デュアル照明(同軸とリングライト照明)が標準装備されている。

LightSpeedフォーカスバリエーションは,大きな凹凸や段差,または急峻な角度を持つ表面計測に理想的であり,同社従来製品「Contour GT」(3次元白色光干渉型顕微鏡)の持つ平滑表面計測技術やナノメートルオーダー計測にも対応。自動車,精密機械加工,製造,エレクトロニクス,医療機器業界の機械的検査,QA/QC検査,プロセス制御,R&Dなどの幅広いアプリケーションに適しているとしている。

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