編集部
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設計特論9—EUV光学系2—
5.6.3 円弧照明光学系 投影光学系が6枚で構成されているように，EUVでは照明系も少ない枚数で構成することが求められる。一方，本連載第26回5.4.2項の表11に示したように，照明系は多岐な要求を実現することを求めら...
2024.12.10 -
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設計特論8—EUV光学系1—
5.6 EUV光学系 半導体露光装置は光による微細加工の代表例である。微細加工における最小解像線幅Rはこれまで何度も出てきた関係式 （39） で示される。式（39）はRayleighの式と言われ，Rを小さくするには短...
2024.11.10 -
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北大，プロテオロドプシンの生物学的意義を解明
北海道大学の研究グループは，南極にすむ細菌がプロテオロドプシンと呼ばれる光受容体タンパク質を介して極限環境の中を生き抜く仕組みの一端と，それが低温環境に適応したプロテオロドプシンの機能によって支えられていることを明らかに...
2024.10.15 -
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設計特論7—ガウスビームの結像—
5.5 ガウスビームの特性 筆者の恩師である小倉磐夫先生は「エレクトロニクスの本質は増幅にあり，増幅作用のある技術こそが大きく成長する。自分がレーザの研究を始めたのもそれがきっかけであった」という主旨のことをおっしゃった...
2024.10.10 -
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