光源

光源の記事一覧

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  • ギガフォトン,新製品のKrFエキシマレーザー出荷

    ギガフォトンは,半導体製造リソグラフィ用光源の技術を応用したGIGANEXシリーズの新製品,KrFレーザー「G300K」を3月に出荷した(ニュースリリース)。 この波長248nmのKrFエキシマレーザーは,同社のリソグラ...

    2020.04.15
  • ギガフォトン,露光用ArF/KrFレーザーを発表

    ギガフォトンは,2020年,新技術を採用した最新半導体製造リソグラフィ用光源,ArF液浸用レーザー「GT66A」とKrFレーザー「G60K」の2機種を,新製品としてラインナップすると発表した(ニュースリリース)。 近年の...

    2020.02.25
  • 日本触媒の有機ELフィルム,輪島塗とコラボ

    日本触媒と輪島キリモトは,日本触媒が開発した最先端技術の「紙より薄いフィルム光源(iOLEDフィルム光源)」と,日本古来の伝統工芸技術である「螺鈿(らでん)」を掛け合わせた他に類のない光る輪島塗「余光(よこう)」を制作し...

    2020.02.20
  • 産総研,200mW超の超広帯域発光素子を開発

    産業技術総合研究所(産総研)の研究グループは,小型ハロゲンランプをしのぐ明るさ(200mW以上)と,1000時間以上の長寿命性を併せ持つ超広帯域発光素子を開発した(ニュースリリース)。 研究グループは,近紫外から近赤外の...

    2020.01.23
  • 紫光技研,プラズマ深紫外線光源に新製品を追加

    紫光技研は,独自技術のプラズマ方式水銀フリー深紫外線面光源UV-SHiPLA(UVシプラ)の新シリーズとして,小型・軽量,コンパクトな真空紫外線(VUV:Vacuum Ultra Violet)面光源を商品化した(ニュー...

    2019.11.11
  • アイ・アール・システム,ハイパワー赤外光源を発売

    アイ・アール・システムは,赤外連続光源ユニット「IRSU-001シリーズ」の販売を開始した(会社HP)。 同社が開発・製造した光源「IRS-001C」を内蔵し,出力可変ダイアルおよびΦ1インチ(25㎜)用フィルタホルダが...

    2019.10.24
  • ギガフォトン,新型ArFドライ光源を出荷

    2019年9月17日ギガフォトンは,新型リソグラフィ用光源,ArFドライ「GT45A」を8月に出荷したことを発表した(ニュースリリース)。 最先端半導体製造プロセスでは,テクノロジー・ノード10/7nmという微細なプロセ...

    2019.09.19
  • santec,廉価版の波長可変光源を発表

    santecは,高出力化を実現させた廉価版波長可変光源「TSL-350」を発表した(ニュースリリース)。受注開始は2019年10月1日,価格は200万円から。 この製品は,レーザー共振器を最適化し,連続(CW)発振でピー...

    2019.09.03
  • ウシオ電機,検査用光源ユニットに新ブランド

    ウシオ電機は,ガラスやレンズ,フィルムなどの品質および欠陥検査に最適な検査用光源ユニットの新ブランド「arctruth(アークトゥルース)」を立ち上げた(ニュースリリース)。 ガラスやレンズ,フィルムなどの品質検査・欠陥...

    2019.07.31
  • 農工大ら,加熱処理向け無電極ランプを開発

    東京農工大学とオーク製作所,テクノリサーチは,無電極発熱ランプをマイクロ波により遠隔加熱する半導体の急速加熱技術により,非晶質シリコン膜の高品質な結晶化を達成した(ニュースリリース)。 さまざまな製品の製造現場に欠かせな...

    2019.04.15

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