ギガフォトン,新製品のKrFエキシマレーザー出荷

ギガフォトンは,半導体製造リソグラフィ用光源の技術を応用したGIGANEXシリーズの新製品,KrFレーザー「G300K」を3月に出荷した(ニュースリリース)。

この波長248nmのKrFエキシマレーザーは,同社のリソグラフィ用光源用KrFレーザーの技術をベースに,微細アブレーション等の「加工の最適化」をコンセプトとして,高安定性,99%以上の高稼働率,高出力を維持しながら,低価格を実現したモデル。

複数のチップで構成された次世代の半導体パッケージでは,外形寸法を小さくするとともに,動作周波数や帯域幅などを高く維持すること,電力効率を高めること,製造コストを低く維持することなどが求められている。

近年これらの要求を叶えるパッケージング技術の微細化が着目されており,そのためには層間を接続するビア穴の微細化が必須となっている。

この加工を高速かつ安価に行なうことができるとして,有機絶縁膜の微細アブレーションビア加工が注目されているが,その光源として,この製品は微細化に有利な短波長および高スループット実現と高出力を両立し,低コスト化をサポートするとしている。

キーワード:

関連記事

  • アト秒X線レーザーの時間幅の測定法のイメージ図

    理研と東大など、100~400アト秒の硬X線レーザー生成に成功

    東京大学、理化学研究所、大阪大学などの国際共同研究グループは、硬X線領域でアト秒X線レーザーの生成と、その時間幅の精密測定に成功した(ニュースリリース)。生成したのは、極めて短い時間幅を持つX線レーザーパルスで、時間幅は…

    2026.10.30
  • JASRIと理研、X線レーザー照射で固体からテラヘルツ波を観測

    JASRIと理研、X線レーザー照射で固体からテラヘルツ波を観測

    高輝度光科学研究センター(JASRI)と理化学研究所の研究グループは、X線自由電子レーザー(XFEL)を用いて、固体にX線レーザーを照射し、テラヘルツ波が放射される現象の観測に成功した(ニュースリリース)。異なる周波数の…

    2026.10.29
  • OKIと独Fraunhofer HHI、光集積型レーザー振動計の試作・動作確認に成功

    写真 登壇している加藤CTO OKIは、ドイツのFraunhofer Heinrich-Hertz-Institut(Fraunhofer HHI)との共同研究により、ハイブリッド光集積技術を用いたレーザー振動計モジュー…

    2026.10.16
  • トルンプの2025/26年度年次報告書「semicon」の表紙

    トルンプ、2025年度のEUV事業は9.2%増 レーザー事業は減収

    ドイツのレーザー加工機大手TRUMPF(トルンプ)は、2026年6月30日に終了した2025/26年度の業績を発表した。グループ全体の売上高は前年度比0.2%増の43億4,000万ユーロとほぼ横ばいだったものの、受注高は…

    2026.10.16
  • 光探索協会、レーザー搭載ドローンと再帰性反射材で遭難者捜索へ

    NPO法人光探索協会(大阪市)は、再帰性反射材と可変QRコードを組み合わせた「再帰性反射可変QRコード」を利用し、レーザー搭載ドローンによって遭難者などを捜索するシステムの普及を進めている。同協会は、この技術を日印・官民…

    2026.10.16

新着ニュース

人気記事

編集部おすすめ

  • オプトキャリア