紫光技研，プラズマ深紫外線光源に新製品を追加

紫光技研は，独自技術のプラズマ方式水銀フリー深紫外線面光源UV-SHiPLA（UVシプラ）の新シリーズとして，小型・軽量，コンパクトな真空紫外線（VUV：Vacuum Ultra Violet）面光源を商品化した（ニュースリリース）。

波長200nm以下のVUV領域で発光する光源は，これまで主に波長185nmの低圧水銀ランプが用いられ，波長172nmのエキシマランプがより短波長を要する応用に用いられてきた。前者は水銀フリー化が求められており，後者も大型の電源装置を必要とすることから，小型軽量でコンパクトなVUV光源が求められていた。

また，オゾンを活用した消臭・除菌も注目されるようになっている。オゾン生成にはいくつかの方式があり，小型のものでは空気中で放電を起こす方法が用いられている。しかし，よりコンパクトでNOx発生の心配がない紫外線によるオゾン生成が求められており，その中でもオゾン生成効率のよい172nm帯VUVが注目されている。

今回開発した光源は，8cmのVUVチューブ発光素子を配列した標準サイズ8×3cmほか，小型4×2cmや高出力対応の8×6cmがあり，円筒巻付け型や特注サイズにも対応する。

直径2mmの細長いガラス細管内に封入したキセノン（Xe）ガス・プラズマが放射する172nm帯ブロード発光の真空紫外線を効率よく取り出すチューブ発光素子を開発し，これを独自の面光源アレイ化技術，駆動技術と組み合わせることで様々なVUV面光源バリエーションを展開する。

8×3cm（標準サイズ）は，空気中で点灯させると1時間当たり10mgのオゾン生成能力があるという。4×2cmでは，冷却不要の小型インバータ電源との組み合わせにより，電池駆動でコンパクトなオゾナイザを実現可能。1時間当たり2mg程度のオゾン発生量となり，室内での消臭・除菌応用に適しているとしている。

また，8×6cmでは高出力駆動回路との組み合わせで1時間当たり40mgのオゾン生成が可能。円筒型の外照構造にすれば平面照射の3倍の照射効率が得られ，有機物や薬品の分解処理に適している。

このほか、VUV（172nm帯ブロード発光）とUVC（260nm帯ブロード発光）を同時に発光する複合波長型も商品化。こちらはオゾン生成と同時に活性酸素に変換するもので，表面洗浄用185nm低圧水銀ランプに対して水銀フリー化を提案する。

同社はこの製品と開発中の新デバイスを，11月12日～14日に東京・科学技術館にて開催される『光とレーザーの科学技術フェア2019』の同社ブースにて展示するとしている。