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露光

露光の記事一覧

全11件中 1〜10件目を表示

  • キヤノン，次世代LED露光技術搭載の複合機を発売

    キヤノンは，オフィス向け複合機の新製品として，「imageFORCE（イメージフォース）」5シリーズ15モデルを2025年9月上旬より順次発売すると発表した（ニュースリリース）。 人々の働き方が多様化する中，オフィスでは...

    2025.08.18

  • TEL，EUV露光によるガスクラスタービーム装置発売

    東京エレクトロン（TEL）は，EUV露光による極微細パターニング工程向けガスクラスタービーム装置「Acrevia 」を発売すると発表した（ニュースリリース）。 この装置は，EUV露光による極微細なパターニング工程において...

    2024.07.10

  • 広島大，遮光による茶葉表皮細胞への影響を解析

    広島大学の研究グループは，高品質な茶葉を作るための遮光が茶葉へ及ぼす影響について，表皮細胞に着目した解析を試みた（ニュースリリース）。 お茶の栽培には遮光処理（被覆栽培）が慣行されているが，遮光作業は重労働であり，担い手...

    2024.03.25

  • 三井化学とimec，EUVで戦略的パートナーシップ締結

    三井化学とimecは，2023年12月13日，極端紫外線（EUV）露光用のカーボンナノチューブ（CNT）膜を使用した次世代ペリクルの事業化に向けた戦略的パートナーシップ契約を締結した（ニュースリリース）。 この戦略的パー...

    2023.12.19

  • 阪大ら，露光でマイクロロボットをその場製造

    大阪大学，北陸先端科学技術大学院大学，岐阜大学は，マイクロ流路内でマイクロロボットの部品をプリント成形し，その場で組み立てることに成功した（ニュースリリース）。 マイクロロボット，特に柔軟な構造を持つロボットは，生物医学...

    2022.08.26

  • ニコン，8G対応FPD露光装置を発売

    ニコンは，多様な高精細パネルの生産が可能な，第8世代プレートサイズ対応のFPD露光装置「FX-88S」を発売すると発表した（ニュースリリース）。 スマートデバイスやハイエンドモニターなどに用いられる中小型パネルは，折り畳...

    2022.04.05

  • ギガフォトン，微細化対応リソグラフィ光源を量産

    ギガフォトンは，新技術を採用した最新半導体製造ArF液浸用リソグラフィ光源「GT66A」の量産出荷を開始した（ニュースリリース）。 最先端デバイス製造は，現在，ロジックデバイスでは3nmノードのプロセス開発が開始，DRA...

    2020.12.22

  • ナイトライド，半導体露光用UV-LEDを発売

    ナイトライド・セミコンダクターは，半導体露光に有効な指向角の狭い高出力な紫外線（UV-）LED「UV-LED365L-9RXT」を開発・販売開始した（ニュースリリース）。販売時期は5月20日から注文受付，デリバリー開始は...

    2020.05.22

  • 日立ハイテク，高分解能FEB測長装置を開発

    日立ハイテクノロジーズ（日立ハイテク）は，高分解能FEB測長装置（CD-SEM）「CG7300」を開発した（ニュースリリース）。 「CG7300」は，従来機種「CG6300」と共通のプラットフォームを用いながら高精度な計...

    2019.12.13

  • SEMI記念賞に，JSR小柴満信氏が決定

    米SEMIは，12月2日，ボブ・グラハム記念SEMIセールス・アンド・マーケティング・エクセレンス賞（SEMI Sales and Marketing Excellence Award, inspired by Bob ...

    2019.12.04

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