露光

露光の記事一覧

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日立ハイテク，高分解能FEB測長装置を開発

日立ハイテクノロジーズ（日立ハイテク）は，高分解能FEB測長装置（CD-SEM）「CG7300」を開発した（ニュースリリース）。「CG7300」は，従来機種「CG6300」と共通のプラットフォームを用いながら高精度な計...
2019.12.13
SEMI記念賞に，JSR小柴満信氏が決定

米SEMIは，12月2日，ボブ・グラハム記念SEMIセールス・アンド・マーケティング・エクセレンス賞（SEMI Sales and Marketing Excellence Award, inspired by Bob ...
2019.12.04
EV Group，新マスクレス露光技術を発表

オーストリアEV Groupは，新しいリソグラフィ技術「MLETM（マスクレス露光）」を発表した（会社HP）。先端パッケージング，MEMS，バイオメディカルおよび高密度プリント回路基板（PCB）等のアプリケーション向け...
2019.08.22

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