真空ポンプ

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  • 原研,チタンによる超高真空ゲッターポンプを開発

    原研,チタンによる超高真空ゲッターポンプを開発

    日本原子力研究開発機構(原研)は,チタンを材料とした真空容器を電源が不要の超高真空ポンプとして活用する技術を構築し,その応用例として,電子顕微鏡の真空性能が向上することを実証した(ニュースリリース)。 超高真空と呼ばれる...

    2022.09.07

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